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        電子束曝光機 晶圓級制造

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        設備名稱:電子束曝光機  晶圓級制造

        設備用途:電子束曝光是利用加速的聚焦電子束在抗蝕劑上曝光,顯影后便可在抗蝕劑上得到相對應的微納結構;用于各種高精度圖形結構的制備。

        主要技術指標:
        加速電壓:50kV
        電子束電流:10pA~100nA
        可加工尺寸:2inch、3inch、4inch、5inch和≥1cm不規則片
        分辨率:10nm
        套刻精度:50nm

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        青島翼晨鐳碩科技有限公司

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