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        手動紫外光刻機

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        設備名稱:手動紫外光刻機   品牌型號 ABM

        設備用途
        光刻機發出的紫外光通過具有特定圖形結構的掩膜版對樣片曝光,然后通過顯影將掩膜版上的圖形結構轉移到樣片表面的光刻膠上。

        主要技術指標:
        曝光波長:350nm---450nm 
        可加工尺寸:2inch 3inch晶圓和≥1.5cm2碎片
        極限分辨率:3um
        正面套刻精度:≤1um
        線寬均一性:≤3%
        曝光模式:接觸式曝光、接近式曝光

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        青島翼晨鐳碩科技有限公司

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